testar wafer wafer

Sim. Não

item

scl  especificações

1

método de crescimento

cz

2

diâmetro da bolacha

150 ± 0,5mm

3

Espessura da bolacha

675 ± 25 μm

4

superfície da bolacha  orientação

u0026 lt; 100 u0026 gt; ± 2 °

5

dopante

fósforo

6

luxação  densidade

menos que  5000 / cm2

8

resistividade

4-7Ωcm

9

radial  variação de resistividade (máx.)

15%

10

planicidade

u0026 emsp;

10a

·  arco (max.)

60 μm

10b

·  Tir (max.)

6 μm

10c

·  Conco (máx.)

12 μm

10d

·  urdidura (máx.)

60 μm

11

primário  plano

u0026 emsp;

11a

·  comprimento

57,5 ± 2,5 mm

11b

·       orientação

{110} ± 2 ° como por  semi padrão

11c

secundário  plano

como por semi  padrão

12

superfície frontal  terminar

espelho polido

13

max. partículas  de tamanho ≥0,3μm

30

14

·  arranhões, névoa, bordas, cascas de laranja e amp; outros defeitos

nada

15

superfície traseira

livre de dano  gravado

16

embalagem  requerimento

deve ser vácuo  selado no ambiente da classe 10 em embalagens de camada dupla. As nádegas devem ser  enviado em ferrão orion dois carregadores de bolachas ou marca equivalente feita a partir de  polipropileno ultra limpo

Sim. Não

item

scl  especificações

1

método de crescimento

cz

2

diâmetro da bolacha

150 ± 0,5mm

3

Espessura da bolacha

675 ± 25μm

4

superfície da bolacha  orientação

u0026 lt; 100 u0026 gt; ± 2 °

5

dopante

fósforo

6

luxação  densidade

menos que  5000 / cm2

8

resistividade

4-7Ωcm

9

radial  variação de resistividade (máx.)

15%

10

planicidade

u0026 emsp;

10a

·  arco (max.)

60 μm

10b

·  Tir (max.)

6 μm

10c

·  Conco (máx.)

12 μm

10d

·  urdidura (máx.)

60 μm

11

apartamento primário

u0026 emsp;

11a

·  comprimento

57,5 ± 2,5 mm

11b

·       orientação

{110} ± 2 ° como por  semi padrão

11c

apartamento secundário

como por semi  padrão

12

superfície frontal  terminar

espelho polido

13

max. partículas  de tamanho ≥0,3μm

30

14

·  arranhões, névoa, bordas,

nada

casca de laranja  & outros defeitos

15

superfície traseira

espelho polido

16

embalagem  requerimento

deve ser vácuo  selado na classe '10'
Ambiente em embalagem de dupla camada.
As bolachas devem ser enviadas em fluorware
orion dois carregadores de bolachas ou equivalente
feito de polipropileno ultra limpo

diâmetro da bolacha

polido

superfície da bolacha

Espessura da bolacha

resistividade

partícula

orientação

4 "

1 lado

100/111

250-500μm

0-100

0.2μm≤qty30

6 "

1 lado

100

500-675μm

0-100

0.2μm≤qty30

8 "

1 lado

100

600-750μm

0-100

0.2μm≤qty30

12 "

2 lados

100

650-775μm

0-100

0,09μm≤qty100

item#

parâmetro

unidades

valor

notas

1

método de crescimento

u0026 emsp;

cz

u0026 emsp;

2

orientação

u0026 emsp;

1-0-0

u0026 emsp;

3

resistividade

Ωм.см

1-50

u0026 emsp;

4

tipo / dopante

u0026 emsp;

р, n /

u0026 emsp;

boro,  fósforo

5

espessura

мкм

1. - 620,

u0026 emsp;

2. - 650

3. - 680

4. - 700

5. - 720

6

gbir (ttv

мкм

1-3. u0026 lt; 30,

u0026 emsp;

4-5. u0026 lt; 20

7

glfr (tir

мкм

u0026 lt; 10

u0026 emsp;

8

urdidura

мкм

u0026 lt; 60

u0026 emsp;

9

arco

мкм

u0026 lt; 40

u0026 emsp;

10

metal  contaminação

1 / см2

u0026 lt; 3e10

u0026 emsp;

11

superfície frontal

u0026 emsp;

polido

u0026 emsp;

12

superfície frontal  visual:

u0026 emsp;

u0026 emsp;

u0026 emsp;

neblina, arranhões  manchas, manchas

u0026 emsp;

Nenhum

casca de laranja

u0026 emsp;

Nenhum

rachaduras, crateras

u0026 emsp;

Nenhum

13

lado da frente lpd:

u0026 emsp;

u0026 emsp;

número de bolachas  com o valor do parâmetro indicado não deve ser inferior a 80% do lote,

u0026 lt; 0,12мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 100

u0026 lt; 0,16мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 50

u0026 lt; 0,20мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 20

u0026 lt; 0,30мкм

u0026 emsp;

u0026 lt; 10