apresentamos um novo processo para integrar germânio com bolachas de silício sobre isolante (soi). o germânio é implantado em soi que é então oxidado, aprisionando o germânio entre as duas camadas de óxido (o óxido crescido e o óxido enterrado). com o controle cuidadoso das condições de implantação e oxidação, este processo cria uma camada fina (experimentos atuais indicam até 20-30nm) de germânio...
os recentes avanços no crescimento de filmes epitaxiais sic em si são analisados. Os métodos clássicos básicos usados atualmente para o crescimento de filmes sic são discutidos e suas vantagens e desvantagens são exploradas. a idéia básica e o fundo teórico para um novo método da síntese de filmes sic epitaxiais em si são dados. Será mostrado que o novo método é significativamente diferente das ...
Os segmentos inas foram cultivados no topo das ilhas gaas, inicialmente criados por epitaxia gotosa em substrato de silício. exploramos sistematicamente o espaço de parâmetros de crescimento para a deposição de inas, identificando as condições para o crescimento seletivo Gaas e para crescimento puramente axial. os segmentos inas axiais foram formados com suas paredes laterais giradas por 30 $ ^ {{...
a densidade e intensidade de dispersão de luz dos precipitados de oxigênio silício cz os cristais são medidos por tomografia por dispersão de luz. os dados numéricos esclarecidos através das medições são discutidos em relação à quantidade de oxigênio precipitado. os resultados obtidos aqui correspondem bem à análise teórica de que os precipitados de oxigênio causam a dispersão da luz. as informaçõ...
Para realizar o carboneto de silício de alto desempenho ( SiC ) dispositivos de potência, contatos ôhmicos de baixa resistência ao SiC tipo-p devem ser desenvolvidos. Para reduzir a resistência do contato ôhmico, é necessário reduzir a altura da barreira nas interfaces metal / SiC ou aumentar a concentração de dopagem nos substratos de SiC. Como a redução da altura da barreira é extremamente difíc...
Exame topográfico e químico de raios X de Si: Ge monocristais contendo 1,2 a% e 3,0 a% Ge, juntamente com medições precisas de parâmetros de rede. Contrastes de difração na forma de "quase-círculos" concêntricos (estriações), provavelmente devido à distribuição não uniforme dos átomos de Ge, foram observados em topografias de projeção. Os padrões de gravação revelaram faixas corresponden...
Nós apresentamos um método sem contato para a determinação do tempo de resposta térmica de sensores de temperatura embutidos em wafers. Neste método, uma lâmpada de flash ilumina um ponto na bolacha em pulsos periódicos; o ponto está no lado oposto do sensor em teste. A constante de tempo térmica do sensor é então obtida a partir da medição de sua resposta temporal, juntamente com um modelo teóric...
Usando deposição de vapor químico melhorado por plasma (PECVD) a 13,56 MHz, uma camada de semente é fabricada na fase inicial de crescimento do microcristalino hidrogenado silício germânio (μc-Si1-xGex: H) i-layer. Os efeitos dos processos de semeadura no crescimento de μc-Si1-xGex: H-camadas e o desempenho de μc-Si1-xGex: Hp-i-n células solares de junção única são investigados. Ao aplicar este mé...
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