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2.definição de propriedades dimensionais, terminologia e métodos de bolacha de carboneto de silício
  • Diâmetro 2-1.wafer

    2018-01-08

    a distância linear ao longo da superfície de uma fatia circular que contém o centro da fatia e exclui quaisquer planos ou outras áreas fiduciais periféricas. os diâmetros padrão da bolacha de silício são: 25,4 mm (1 \"), 50,4 mm (2\"), 76,2 mm (3 \"), 100 mm (4\"), 125 mm (5 \"), 150 mm (6\"), 200 mm (8 \") e 300 mm (12 \"). a dimensão linear através da superfície de uma bolacha. A medição é realizada manualmente com pinças digitais certificadas em cada bolacha individual.

  • Espessura 2-2.wafer, ponto central

    2018-01-08

    fina (espessura depende do diâmetro da bolacha, mas é tipicamente inferior a 1 mm), fatia circular de material semicondutor monocristalino cortado do lingote de semicondutor de cristal único; usado na fabricação de dispositivos semicondutores e circuitos integrados; Os diâmetros da bolacha podem variar de 5 mm a 300 mm. medido com ferramentas sem contato ansi certicadas no centro de cada bolacha individual.

  • Comprimento liso 2-3.wafer

    2018-01-08

    Dimensão linear do measured measured medido com paquímetro digital certificado em uma amostra de uma bolacha por lingote.

  • Orientação da superfície 2-4.wafer

    2018-01-08

    denota a orientação da superfície de uma bolacha em relação a um plano cristalográfico dentro da estrutura de treliça. nas bolachas cortadas intencionalmente “fora de orientação”, a direção do corte é paralela ao primário  em, longe do secundário  em. medido com goniômetro de raios-x em uma amostra de uma bolacha por lingote no centro da bolacha.

  • 2-5.mientientação

    2018-01-08

    em wafers cortados intencionalmente \"off orientação\", o ângulo entre a projeção do vetor normal para as bolachas superfície num plano {0001} e a projecção nesse plano da unidade mais próxima \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; direção.

  • Apartamento principal 2-6.wafer

    2018-01-08

    o plano de comprimento maior no wafer, orientado de tal modo que o acorde seja paralelo a um plano de cristal de índice baixo especificado; apartamento principal. o primário é o plano {10-10} com a face paralela à das posições \u0026 lt; 11-20 \u0026 gt; direção.

  • 2-7.proximação plana primária

    2018-01-08

    a parte do maior comprimento na bolacha, orientada de tal forma que a corda é paralela com um plano de cristal de índice baixo especificado. medido em uma bolacha por lingote usando a técnica de retro-reação de laço com medição de ângulo manual.

  • 2-8 orientação plana secundária

    2018-01-08

    um de menor comprimento que a orientação primária, cuja posição em relação à orientação primária identifica a face da bolacha.

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