Nós apresentamos um método sem contato para a determinação do tempo de resposta térmica de sensores de temperatura embutidos em wafers. Neste método, uma lâmpada de flash ilumina um ponto na bolacha em pulsos periódicos; o ponto está no lado oposto do sensor em teste. A constante de tempo térmica do sensor é então obtida a partir da medição de sua resposta temporal, juntamente com um modelo teóric...
Experimentos ortogonais de crescimento de filmes GaSb em Substrato de GaAs foram projetados e executados usando um sistema de baixa deposição de vapor químico orgânico de metal (LP-MOCVD). As cristalinidades e microestruturas dos filmes produzidos foram comparativamente analisadas para atingir os parâmetros ótimos de crescimento. Foi demonstrado que o filme fino GaSb otimizado tem uma largura tota...
Um método de imagem não destrutivo sem contato para concentração de dopante resolvida espacialmente, [2.2] N d, e resistividade elétrica, ρ, de wafers de silício tipo n e pusando imagens de portadora lock-in em várias intensidades de irradiação de laser. Informações de amplitude e fase de locais de wafer com resistividade conhecida foram empregadas para derivar um fator de calibração para determin...
Os recentes avanços no crescimento de filmes epitaxiais de SiC em Si são vistos. Os métodos clássicos básicos atualmente usados para o crescimento de filmes de SiC são discutidos e suas vantagens e desvantagens são exploradas. A ideia básica e o embasamento teórico para um novo método de síntese de filmes epitaxiais de SiCem Si são dadas. Será mostrado que o novo método é significativamente dife...
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