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2-12. Exclusão de junção

2.definição de propriedades dimensionais, terminologia e métodos de bolacha de carboneto de silício

2-12. Exclusão de junção

2018-01-08

o anel externo da bolacha é designado como área de manuseio de bolacha e é excluído dos critérios de superfície da superfície (como arranhões, sulcos, neblina, contaminação, crateras, covinhas, ranhuras, montes, casca de laranja e marcas de serra). este anel é de 2 mm para substratos de 76,2 mm e de 3 mm para substratos de 100,0 mm.

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