bow é o desvio do ponto central da superfície mediana de uma bolacha livre, não-apertada, da superfície mediana para o plano de referência. onde o plano de referência é definido por três cantos do triângulo equilátero. esta definição baseia-se na obsoleta astm f534.
Há um número de fatores que podem afetar a forma de uma bolacha seja carboneto de silício, gaas ou inp. enquanto uma bolacha está na espessura total, ela tem a resistência à tração para resistir a qualquer influência externa de alterar sua forma. no entanto, como uma bolacha é diluída, as influências externas farão com que uma bolacha fique côncava ou convexa. Algumas das influências mais comuns são o tipo de filme e espessura na superfície da bolacha.
concavidade, curvatura ou deformação da linha central da bolacha de carboneto de silício independentemente de qualquer variação de espessura presente.
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