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3-11. partículas

3. Definições de epitaxia de carboneto de silício

3-11. partículas

2018-01-08

as partículas têm a aparência de olhos e, se presentes, concentram-se normalmente nas bordas da pastilha e não dentro da área especificada. Se presente, conte uma vez por ocorrência. Duas partículas dentro de 200 microns contam como uma.

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