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3-8. 3c inclusões

3. Definições de epitaxia de carboneto de silício

3-8. 3c inclusões

2018-01-08

regiões onde o step- ow foi interrompido durante o crescimento da camada epi. regiões típicas são geralmente triangulares, embora formas mais arredondadas sejam vistas às vezes. conta uma vez por ocorrência. duas inclusões dentro de 200 microns contam como uma.

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