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5-5-1 escolha do politipo para dispositivos

5. Tecnologia de carboneto de silício

5-5-1 escolha do politipo para dispositivos

2018-01-08

como discutido na seção 4, 4h e 6h-sic são as formas muito superiores de qualidade de dispositivos semicondutores comercialmente disponíveis na forma de wafer produzida em massa. portanto, somente os métodos de processamento de dispositivos de 4h e 6h serão explicitamente considerados no restante desta seção. Deve-se notar, no entanto, que a maioria dos métodos de processamento discutidos nesta seção são aplicáveis ​​a outros politipos de sic, exceto no caso de uma camada 3c-sic ainda residente em um substrato de silício, onde todas as temperaturas de processamento precisam ser mantidas. bem abaixo da temperatura de fusão do silício (~ 1400 ° c). é geralmente aceito que a mobilidade transportadora substancialmente maior de 4h-sic e as menores energias de ionização dopante em comparação com 6h-sic (tabela 5.1) devem torná-lo o politipo de escolha para a maioria dos dispositivos eletrônicos sic, desde que todos os outros processamentos, desempenho e custo Os problemas relacionados se mostram como sendo aproximadamente iguais entre os dois politipos. além disso, a anisotropia de mobilidade inerente que degrada a condução paralela ao eixo c cristalográfico em 6h-sic favorece particularmente 4h-sic para configurações de dispositivo de potência vertical (seção 5.6.4). porque a energia de ionização dos dopantes aceitadores do tipo p é significativamente mais profunda do que para os doadores do tipo n, uma condutividade muito maior pode ser obtida para os substratos sicos do tipo n do que para os substratos do tipo p.

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