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um gravador para delimitação de defeitos de padrão de fluxo em bolachas de silício de p-tipo fortemente dopadas

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um gravador para delimitação de defeitos de padrão de fluxo em bolachas de silício de p-tipo fortemente dopadas

2017-04-22

abstrato


Secco etchant é usado convencionalmente para delinear defeitos de padrão de fluxo (fpds) em bolachas de silício de czochralski (cz) ligeiramente dopadas. no entanto, os fpds em bolachas de silício de p-tipo fortemente dopadas não podem ser bem delineados pelo separador de secco. aqui, um gravador baseado no sistema cro3hfh2o, com uma relação de volume otimizada de v (cro3): v (hf) = 2: 3, onde a concentração de cro3 é de 0,25 a 0,35 m, foi desenvolvida para delimitação de fpds com morfologias bem definidas para as bolachas de silício de p-tipo com grande teor de boro (b).


palavras-chave: silício de p-tipo fortemente dopado, defeitos de padrão de fluxo, delinear, gravura preferencial


fonte: sciencedirect


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