apresentamos um novo processo para integrar germânio com bolachas de silício sobre isolante (soi). o germânio é implantado em soi que é então oxidado, aprisionando o germânio entre as duas camadas de óxido (o óxido crescido e o óxido enterrado). com o controle cuidadoso das condições de implantação e oxidação, este processo cria uma camada fina (experimentos atuais indicam até 20-30nm) de germânio...
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