O wafer silicon-on-insulator (soi) é uma das plataformas mais atraentes para circuitos integrados ópticos com potencial para realizar integração ultra-grande escala de alto desempenho (ulsi) e miniaturização de dispositivos. Neste trabalho, com base em simulações para obter propriedades ópticas apropriadas de uma microcavidade de silício porosa (PSM), fabricamos com sucesso um psm altamente eficiente em soi wafer por meio de gravação eletroquímica para detecção de DNA em comprimento de onda óptico de 1555.0 nm. o pico de ressonância estreito com uma largura total a metade do máximo, cerca de 26,0 nm no espectro de refletância, fornece um fator q alto que causa alta sensibilidade para o desempenho de detecção. a sensibilidade deste sensor é investigada através de hibridação de dna de 19 pares de bases no psm por modificação de superfície usando um método de química de ligação cruzada padrão. o desvio para o vermelho dos espectros de refletância mostra uma boa relação linear com a concentração complementar de dna, variando de 0,625 a 12,500 μm, e o limite de detecção é de 43,9 nm. este psm óptico no soi é altamente sensível, rápido de responder, fácil de fabricar e de baixo custo, que se beneficiará amplamente do desenvolvimento de um novo biossensor sem rótulo óptico no soi wafer e tem um grande potencial para biochips baseados em dispositivos ópticos integrados.

Destaques

► um biossensor psm livre de rótulo sensível em soi wafer foi fabricado por ataque eletroquímico. ► por simulações e experimentos, otimizamos o biossensor psm com alto valor q e alta sensibilidade. ► este biossensor foi usado para detecção de DNA e o desvio para vermelho mostra uma boa relação linear com dna. ► este psm óptico em soi pode ser um grande potencial para biochips baseados em dispositivos ópticos integrados.

palavras-chave

bolacha de silício sobre isolante; microcavidade de silício poroso; biossensor de dna; alta sensibilidade

fonte: sciencedirect

Para mais informações, por favor visite nosso website: http://www.powerwaywafer.com /, envie-nos um email para sales@powerwaywafer.com ou powerwaymaterial@gmail.com .