substratos para deposição de filmes nitretos iii-v
cristal |
estrutura |
p.f. |
densidade |
treliça mis-match para gan |
expansão térmica |
tecnologia de crescimento. & tamanho máximo |
substrato padrão tamanho (mm) |
o c |
g / cm 3 |
(10 -6 / k) |
|||||
sic (6h como exemplo) |
hexagonal |
~ 2700 |
3,21 |
3,5% de atori. |
10,3 |
cvd |
Ø2 \"x 0,3, Ø3\" x0,3 |
a = 3,073 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
20x20x0,3,15x15x0,3 |
||||
c = 15,117 Å |
\u0026 emsp; |
Ø3 “ |
10x10x0,3,5x5x0,3 |
||||
\u0026 emsp; |
subl. |
\u0026 emsp; |
1 lado epi polido |
||||
al 2 o 3 |
hexagonal |
2030 |
3,97 |
14% de atori. |
7,5 |
cz |
Ø50 x 0,33 |
a = 4,758 Å |
\u0026 emsp; |
Ø25 x 0,50 |
|||||
c = 12,99 Å |
Ø2 ” |
10x10x0,5 |
|||||
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
1 ou 2 lados epi polido |
|||||
lialo 2 |
tetragonal |
1900 ~ |
2,62 |
1,4% atori. |
/ |
cz |
10x10x0,5 |
a = 5,17 Å |
Ø20 mm |
1 ou 2 lados epi polido |
|||||
c = 6,26 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
ligao 2 |
orthor. |
1600 |
4,18 |
0,2% de atori. |
/ |
cz |
10x10x0,5 |
a = 5,406 Å |
Ø20 mm |
1 ou 2 lados epi polido |
|||||
b = 5.012Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
c = 6,379 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
mgo |
cúbico |
2852 |
3,58 |
3% de atori. |
12,8 |
fluxo |
2 ”x2” x 0,5 mm, Ø2 ”x 0,5 mm |
a = 4,216 Å |
\u0026 emsp; |
1 \"x1\" x 0,5 mm, Ø1 \"x 0,5 mm |
|||||
\u0026 emsp; |
Ø2 \" |
10 x 10x0,5 mm |
|||||
1 ou 2 lados epi polido |
|||||||
mgal 2 o 4 |
cúbico |
2130 |
3,6 |
9% de atori. |
7,45 |
cz |
Ø2 \"x 0,5 |
a = 8,083 Å |
Ø2 “ |
10x10x0,5 |
|||||
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
1 ou 2 lados epi polido |
|||||
zno |
hexag. |
1975 |
5,605 |
2,2% atori. |
2,9 |
hidrotérmico |
20x20x0,5 |
a = 3,325 Å |
20 mm |
1 ou 2 lados epi polido |
|||||
c = 5,213 Å |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
|||||
gan |
hexagonal |
\u0026 emsp; |
6,15 |
\u0026 emsp; |
5,59 |
\u0026 emsp; |
10x10x0,475mm |
\u0026 emsp; |
\u0026 emsp; |
5x5x0,475mm |