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Caracterização de precipitados de oxigênio em cristais de silício cz por tomografia de espalhamento de luz

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Caracterização de precipitados de oxigênio em cristais de silício cz por tomografia de espalhamento de luz

2018-08-30

a densidade e intensidade de dispersão de luz dos precipitados de oxigênio silício cz os cristais são medidos por tomografia por dispersão de luz. os dados numéricos esclarecidos através das medições são discutidos em relação à quantidade de oxigênio precipitado. os resultados obtidos aqui correspondem bem à análise teórica de que os precipitados de oxigênio causam a dispersão da luz. as informações obtidas pela tomografia por espalhamento de luz explica muito bem o processo de precipitação do oxigênio em cristais de silício cz e as densidades de precipitados obtidos por este método são confiáveis.


fonte: iopscience


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