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Torneamento de diamante de pequenas matrizes de lentes Fresnel em cristal único InSb

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Torneamento de diamante de pequenas matrizes de lentes Fresnel em cristal único InSb

2019-01-14

Uma pequena matriz de lentes de Fresnel foi transformada em diamante bolacha InSb de cristal único usando uma ferramenta de diamante de ponto único com raio negativo de meio raio (−25 °). O arranjo usinado consistia de três lentes de Fresnel côncavas cortadas sob diferentes seqüências de usinagem. Os perfis de lente Fresnel foram projetados para operar no domínio paraxial tendo uma distribuição de fase quadrática. A amostra foi examinada por microscopia eletrônica de varredura e um perfilômetro óptico.


A perfilometria óptica também foi utilizada para medir a rugosidade superficial da superfície usinada. Fichas de tipo dúctil foram observadas na face de inclinação da ferramenta de corte. Nenhum sinal de desgaste de ponta foi observado na ferramenta de diamante. A superfície usinada apresentou uma fase amorfa sondada por espectroscopia micro Raman. Um tratamento térmico com sucesso de recozimento foi realizado para recuperar a fase cristalina na superfície usinada. Os resultados indicaram que é possível realizar um processo de 'litografia mecânica' em semicondutores de cristal único .


fonte: iopscience

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