nós relatamos em propriedades elétricas e microestrutura de filmes nbn epitaxial finos crescidos em 3c-sic / si substratos por meio de pulverização reativa de magnetron. um crescimento epitaxial completo na interface nbn / 3c-sic foi confirmado por meio de microscopia eletrônica de transmissão de alta resolução (hrtem) juntamente com difratometria de raios-x (xrd). As medições de resistividade dos filmes mostraram que a temperatura de início da transição supercondutora (tc) para a melhor amostra é de 11,8 k. Usando esses filmes de nbn epitaxiais, fabricamos dispositivos de bolômetro de elétrons quentes (heb) de tamanho submicrônico em substrato 3c-sic / si e realizamos sua caracterização completa de CC. a temperatura crítica observada tc = 11,3 k e a densidade de corrente crítica de cerca de 2,5 ma cm - 2 a 4,2 k das pontes de tamanho submicrónico foram uniformes ao longo da amostra. isso sugere que os filmes depositados nbn possuem a homogeneidade necessária para sustentar a fabricação confiável de dispositivo bolômetro de elétrons a quente para essas aplicações.
fonte: iopscience
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