A sustec Microtec, um fornecedor global de soluções de equipamentos e processos para a indústria de semicondutores e mercados relacionados, lançou a série li - uma nova plataforma de imagem de laser de superfície pré anunciada em 4 de maio de 2016.

A tecnologia altamente versátil do li para o processamento de superfície laser varia desde sub-micrométrica de substratos revestidos resistentes a micro-ablação, tratamento fotoquímico e metrologia.

os padrões, definidos por um processo cad, são transferidos ao mover com precisão os substratos direcionados por baixo de um raio laser focalizado e de varredura. Além disso, a configuração da imagem laser é altamente personalizável, para melhor atender aos requisitos específicos de cada usuário. A tecnologia suporta tamanhos de substrato de pequenos pedaços até 300 mm e atinge uma resolução de até 0,8 μm. O alinhamento de várias camadas é possível através dos sistemas ópticos de alinhamento do lado superior e inferior. Ao lado do laser ganhado de 405 nm para processos de litografia de resistência fina padrão, uma segunda fonte de laser também pode ser adicionada para abordar, adicionalmente, diversos processos, tais como, entre outros, resistências grossas como su8 e materiais sensíveis a infravermelhos.

A principal vantagem do laser imager é a sua flexibilidade, tornando-o adequado para os vários requisitos das instalações de iluminação acadêmica e industrial. As principais aplicações incluem uma grande variedade de estruturas nano e 3d para litografia de bolacha de alta resolução, componentes micro-ópticos, sensores, dispositivos microfluídicos e fabricação de máscaras.

\"Com a plataforma de imagem de laser de superfície, adicionamos uma ferramenta ao nosso portfólio de produtos que expande o nosso equipamento de exposição existente para requisitos de maior resolução para aplicativos de ponta\", diz dr. per-ove hansson, ceo de suss microtec ag. \"Com esta adição, estamos aprimorando nossa posição de liderança e oferecendo o conjunto mais completo de produtos e tecnologias para o mercado de litografia e r\".

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fonte: ledinside

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